轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室

目前，空氣除濕主要有四種方式，通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對濕度要求不是很高(RH≯60～65%)的條件下，效果還是比較好，性能穩(wěn)定且能耗也比較低，目前應(yīng)用比較廣泛。但在生產(chǎn)環(huán)境對濕度要求較高(RH=45±5%)的地方，采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟(jì)的。采用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)，將不受空氣^***影響，且除濕量大，特別適用于低濕條件下，但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行，由于其耗能量也比較大，此種方案也不是經(jīng)濟(jì)的。由于轉(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長，將其優(yōu)化組合，各取所長，互補(bǔ)所短，會(huì)的發(fā)揮其效能。

　　濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求，由于電子產(chǎn)品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其品質(zhì)的影響，其對濕度的精度提出了嚴(yán)格要求，對于空調(diào)系統(tǒng)的配置，則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。一般的，半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%;而對于這個(gè)溫濕度要求，傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理，并取得了成果。但這種方式卻存在著一個(gè)致命問題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi)，特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的情況，使得這個(gè)問題十分突出。因此，在的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式，達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求，并取得了顯著收益。

　　轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)的特性

　　轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)系統(tǒng)，就是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)系統(tǒng)與轉(zhuǎn)輪除濕相結(jié)合，利用制冷系統(tǒng)的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕，而利用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行深度除濕。冷卻除濕在的范圍內(nèi)除濕效果好，且性能穩(wěn)定，但當(dāng)濕度要求較低時(shí)，冷卻除濕的能力明顯下降，此時(shí)選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕系統(tǒng)，可以達(dá)到很好的效果。冷卻除濕作為前期除濕，突出了冷卻除濕機(jī)高^***工況下能耗低的特點(diǎn)，利用轉(zhuǎn)輪除濕進(jìn)行深度除濕，突出了轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)低溫低濕條件下，不受^***限制且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。此系統(tǒng)常用的處理流程如下：1：冷卻除濕;2：轉(zhuǎn)輪除濕;3：等濕冷卻;5：加熱;6：絕熱

　　在低濕環(huán)境條件下，采用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)具有僅冷卻除濕機(jī)不可比擬的*性。