川島轉(zhuǎn)輪式除濕機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室的應(yīng)用

　　一般半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為T(mén)=22±2℃，RH=45±5%;而對(duì)于這個(gè)溫濕度要求，傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理，并取得了成果。但這種方式卻存在著一個(gè)問(wèn)題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi)，特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠(chǎng)主要集中分布在華南和華東地區(qū)的情況，使得這個(gè)問(wèn)題十分突出。因此在許多半導(dǎo)體廠(chǎng)房的空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)始使用新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和川島轉(zhuǎn)輪式除濕機(jī)聯(lián)合處理溫濕度而后通過(guò)后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式，達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求，并取得了顯著收益。

　　轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)系統(tǒng)就是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)系統(tǒng)與轉(zhuǎn)輪除濕相結(jié)合，利用制冷系統(tǒng)的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕，而利用川島轉(zhuǎn)輪式除濕機(jī)進(jìn)行深度除濕。冷卻除濕在的范圍內(nèi)除濕效果好，且性能穩(wěn)定，但當(dāng)濕度要求較低時(shí)，冷卻除濕的能力明顯下降，此時(shí)選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕系統(tǒng)，可以達(dá)到很好的效果。冷卻除濕作為前期除濕，突出了冷卻除濕機(jī)高工況下能耗低的特點(diǎn)，利用轉(zhuǎn)輪除濕進(jìn)行深度除濕，突出了轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)低溫低濕條件下，不受限制且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。在低濕環(huán)境條件下，采用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)具有僅冷卻除濕機(jī)不可比擬的*性。